Hoe je MEMS-wafers droog maakt, zonder problemen Bij het maken van MEMS-sensoren is vocht een groot probleem. Je kunt ze echter niet zomaar met hitte...

Bekijk een MEMS-wafer die van de laatste spoeling komt. Als de droogverwarmer zijn werk niet goed doet, ontstaan er watervlekken, waarna de hechting...