Houd je wafers schoon: de werkelijkheid rondom de veiligheid van de warmtebronnen in de schone ruimtes
In een fabriek voor semiconductoren kan één kleine fout alles verpesten. Stel je voor dat er een infraroodlamp explodeert recht boven een karretje met wafers. Plotseling vallen er glasfragmenten en chemische resten op de wafers. In één klap is een hele lading afval. Het is een nachtmerriescenario.
Daarom bouwen we de warmtebronnen in onze schone ruimtes zodat deze soort rampen voorkomen worden.
Waarom lampen kapotgaan
Meestal komt het door thermische schokken of ongelijke hitteverdeling. Wanneer de kwartslaag de spanning niet meer kan verdragen, breekt ze. We gebruiken hoogzuivere gefuseerde kwarts om de hitte te kunnen weerstaan. Maar we stoppen daar niet bij. We voegen ook een beschermend omhulsel toe. Dit fungeert als een soort ‘schild’. Als een lamp kapotgaat, blijven de brokstukken binnenin het omhulsel zitten. Hierdoor blijven je wafers schoon, en hoef je de volgende twaalf uur geen tijd te besteden aan het schoonmaken van de apparatuur.
Het evenwicht tussen hitte en vermogen
Het probleem is dat het riskant is om een lamp tot zijn maximale capaciteit te gebruiken. Als je de lamp op maximale sterkte gebruikt, kan de draad in contact komen met de kwartswand. Dat leidt tot een breuk. We stellen de spanning en het vermogen zo in dat alles stabiel blijft. Maar jij moet ook je best doen: zorg ervoor dat de stroomopbrengst constant is. Een plotselinge stijging van de spanning kan de draad beschadigen, waardoor er drukontwikkelingen optreden. Dan ben je weer terug bij af.
Integratie in het werkproces
We gebruiken standaardconnectoren, omdat we weten dat je haast hebt. Hoe sneller je een onderdeel kunt vervangen, hoe minder tijd de karretjes blootgesteld zijn aan de lucht in de schone ruimte. Er is echter één nadeel: het beschermende omhulsel blokkeert een klein beetje van het directe infraroodlicht. Hierdoor duurt het iets langer voordat de lamp klaar is voor gebruik. Het is een klein offer. Een paar extra seconden om de lamp op temperatuur te brengen, is beter dan dat de productie tot stilstand komt.