Mengapa kita menggunakan lapisan emas untuk proses pemprosesan wafer
Ketika membina ketuhar di bilik bersih, cabaran sebenarnya bukan sekadar meningkatkan suhu. Cabaran yang lebih penting ialah memastikan bahawa haba tersebut sampai ke tempat yang sepatutnya. Jika anda memanaskan wafer silikon, dan tenaga yang digunakan hanya berputar-putar di sekitar komponen ketuhar tanpa sampai ke permukaan wafer, maka anda hanya membazir tenaga saja. Lebih buruk lagi, dinding ketuhar akan menjadi penyerap haba yang efektif. Inilah sebabnya mengapa reflektor yang dilapisi emas sangat berguna.
Memastikan haba tetap berada di tempat yang sepatutnya
Kebanyakan orang menggunakan reflektor berbahan aluminium. Walaupun ia mudah didapatkan, ia menyerap terlalu banyak tenaga. Emas pula berbeza. Ia sangat efektif dalam memantulkan tenaga inframerah kembali ke permukaan wafer. Ia sama seperti cara untuk memfokuskan pancaran cahaya. Dengan cara ini, radiasi tidak akan tersebar ke dinding ketuhar, sebaliknya akan tetap berada pada permukaan wafer. Ini merupakan cara yang lebih efektif untuk mengendalikan tenaga.
Kekurangan penggunaan lapisan emas
Namun, ada juga kekurangannya. Anda tidak boleh sekadar melapisi reflektor dengan emas sahaja. Anda perlu mencari keseimbangan antara kuasa yang digunakan dan cara untuk mengalirkan haba tersebut. Lampu inframerah berkuasa tinggi sangat efektif untuk memanaskan wafer dengan cepat. Namun, apabila emas digunakan untuk memfokuskan semua tenaga tersebut ke satu titik, hujung lampu akan menjadi sangat panas. Jika sistem penyejukan tidak cukup baik, lampu tersebut akan rosak dengan cepat. Anda perlu memastikan aliran udara yang cukup agar semuanya berfungsi dengan baik.
Menggunakannya dalam proses pengeluaran
Kita membina sistem ini agar ia dapat disambungkan ke fasilitas bilik bersih yang sudah ada tanpa masalah. Yang penting ialah ketepatan. Jika lapisan emas tidak rata, akan timbul “titik panas”. Ini akan menyebabkan wafer menjadi bengkok atau tidak sempurna setelah diproses. Namun, jika dilakukan dengan betul, profil termal akan menjadi lebih stabil. Dengan cara ini, proses pengeluaran dapat berjalan lebih cepat. Anda juga dapat memproses lebih banyak wafer tanpa rasa risau.
Peringatan: Pastikan bekalan kuasa stabil. Kenaikan voltan secara tiba-tiba boleh merosakkan lampu inframerah berkepadatan tinggi dengan cepat. Pastikan bekalan kuasa stabil agar sistem ini dapat berfungsi dengan baik.