카본 파이버 IR 램프로 “오븐 효과”를 막는 방법
대부분의 적외선 히터는 열을 사방으로 방출하기 때문에 다소 번거롭습니다. 반도체 제조 공장에서 이런 히터를 사용한다면, 장비의 벽면들이 위험할 정도로 뜨거워질 수 있습니다.
우리는 카본 파이버 IR 램프를 사용하여 이 문제를 해결합니다. 전체 공간을 가열하는 대신, 에너지를 정확히 웨이퍼나 기판 위에 집중시킬 수 있습니다.
실제 작동 원리
카본 파이버 필라멘트는 구식 텅스텐이나 할로겐 와이어와는 다릅니다. 이 필라멘트는 중간에서 긴 파장의 복사열을 방출합니다. 적절한 반사판과 함께 사용하면, 열을 원하는 곳으로 정확히 보낼 수 있습니다.
따라서 장비가 거대한 오븐처럼 되는 것을 막을 수 있습니다. 부품의 표면 온도를 원하는 수준으로 유지할 수 있으며, 장비의 몸체가 과열되는 것도 방지됩니다. 이는 훨씬 더 효율적인 방식입니다.
하드웨어에 대한 세부 사항
우리는 반도체 제조 환경의 극심한 조건을 견딜 수 있도록 이러한 장비를 설계합니다. 가장 좋은 점은 시스템이 매우 빠르게 작동한다는 것입니다. 몇 초 만에 원하는 온도에 도달할 수 있습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 필라멘트에 너무 많은 전압을 공급하면 손상될 수 있습니다. 안정적인 작동을 위해 PID 컨트롤러를 사용하는 것이 좋습니다. 이를 통해 모든 것을 균형 있게 유지할 수 있습니다.
장단점
열이 특정 방향으로만 전달되기 때문에, 장비의 외부는 시원하게 유지됩니다. 작업자들도 화상을 입지 않으며, 공장의 에어컨도 과부하되지 않습니다.
다만 주의해야 할 점은, 열이 매우 집중되기 때문에 정확도가 매우 중요하다는 것입니다. 부품이 약간 어긋나거나 반사판이 비뚤어져 있으면, 기판 위에 뜨거운 부분과 차가운 부분이 생길 수 있습니다.
그러므로 장착 브라켓이 단단히 고정되어 있는지 확인해야 합니다. 램프가 정확히 중심에 위치해야 하며, 그렇지 않으면 장비가 작동하지 않을 수 있습니다.