Nel cluster di litografia, il wafer da 300 mm non può rimanere fermo ad aspettare che il riscaldatore raggiunga la temperatura desiderata. I processi di riscaldamento “soft bake” e “hard bake” determinano il “budget termico” necessario per il funzionamento corretto del sistema; se la temperatura varia o non è uniforme, il controllo della larghezza dei bordi del wafer diventa impossibile. Abbiamo progettato un tubo di riscaldamento a infrarossi ad alta durata per eliminare questa variabilità.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Il tubo utilizza emettitori a onde corte a infrarossi all’interno di un involucro di quarzo, il che permette un riscaldamento rapido e preciso, con tempi di risposta inferiori a un secondo. Nella zona di riscaldamento, manteniamo un’omogeneità della temperatura entro ±0,1°C, il che significa che ogni wafer riceve lo stesso trattamento termico. L’intensità di riscaldamento rimane stabile per oltre 5.000 ore, con una diminuzione dell’intensità inferiore al 5%. Il design del tubo è compatibile con ambienti di tipo Class 1–100; inoltre, durante il funzionamento non vengono emesse particelle.
Perché funziona bene in produzione
Questo tubo è stato progettato apposta per i processi di litografia, e non soltanto per raggiungere una certa temperatura. Durante il processo di riscaldamento del fotorestista, il tubo permette di ottenere un profilo di temperatura uniforme, con ripetibilità elevata, anche tra diverse sessioni di produzione. In questo modo si ottiene un miglior tasso di produzione, meno wafer danneggiati a causa delle variazioni di temperatura, e una manutenzione pianificata invece che reattiva. Inoltre, l’utilizzo di energia diminuisce, poiché il sistema si riscalda su richiesta e mantiene una temperatura costante senza sovrastimoli.
Alcune note pratiche
L’installazione e l’allineamento del tubo richiedono precisione estrema. Il tubo deve essere installato entro i limiti specificati dall’apparecchiatura; altrimenti si rischiano punti caldi e perdita di omogeneità nella temperatura. Dopo l’accensione del tubo, è necessario attendere un breve periodo di tempo affinché possa funzionare in modo stabile. È consigliabile programmare la sostituzione del tubo in base alle manutenzioni preventive, in modo da garantire sempre un funzionamento affidabile. Prima dell’uso, assicuratevi che la tensione e l’interfaccia di collegamento corrispondano alle specifiche del vostro equipaggiamento.