בתהליך ייצור תאי דלק, שכבות הקטליזטור הן דקות, מוליכות חשמל ורגישות לחום. כל נקודת חום עודפת או עלייה איטית בטמפרטורה עלולים לגרום לשינוי במבנה הקטליזטור. כתוצאה מכך, ההתנגדות החשמלית עולה, וביצועי המערכת יורדים. יש צורך בשלב ייבוש שיהיה דומה לתהליך החימום בליתוגרפיה – תהליך חוזר, אחיד ונקי.
מה חשוב מבחינה טכנית? יצרנו את מנורת הייבוש של הקטליזטור באמצעות קרינה באור קרוב-אינפרא-אדום, שמותאמת לפרופיל הספיגה של דיו הקטליזטור ושל החומרים המשמשים לחיבורו. התוצאה היא חימום מהיר של הקטליזטור, מבלי לגרום לעלייה יתר בטמפרטורה של המשטח עליו הוא נמצא. רמת האחידות של הטמפרטורה באזור הפעיל נשארת בטווח של ±0.1°C, ורמת החזריות של הטמפרטורה בין סדרות שונות היא ±0.5°C. המנורה משתמשת בגאומטריה של קוורץ-הלוגן, עם שליטה מדויקת בטמפרטורה; כך נשמרת טמפרטורה יציבה לאחר 5,000 שעות ויותר, עם ירידה של פחות מ-5%. המערכת מתאימה לחדרי עבודה מסוג Class 1–100, וכל אזור חם במערכת תוכנן כך שלא ייווצרו חלקיקים באזור הפעולה.
למה זה עובד בפועל? בייצור תאי דלק, הקטליזטור נמצא על משטחים דקים ועל לוחות מתכתיים, שבהם המסה התרמית משתנה וקיים סיכון אמיתי לעיוות. אנרגיית האור הקרוב-אינפרא-אדום מאפשרת חימום מהיר של הקטליזטור, ללא חימום של המשטח עצמו. זה מאפשר ייבוש מהיר יותר, צריכת אנרגיה נמוכה יותר, ושליטה טובה יותר על מבנה החורים ועל חלוקת הקטליזטור. אותה דיוק שמאפשר שליטה טובה בחומרים בתהליך הליתוגרפיה, מאפשר גם שליטה טובה בפעילות הקטליזטור: פרופילי חימום צפויים, זמני חימום מבוקרים, והתאמה אחידה בין הקווים השונים. צריכת האנרגיה יורדת מכיוון שהמנורה מחממת רק את האזור הרצוי, וזמן הפעולה של המערכת משתפר מכיוון שהמערכת מאפשרת פעולה 24/7 עם שליטה על תהליכי החימום והקירור.
הפרטים שצריך להביא בחשבון ייבוש באמצעות אור קרוב-אינפרא-אדום דורש שהאור יגיע ישירות לקטליזטור; לכן חשובה גאומטריה נכונה של המנורה ושהמרחק בין המנורה לקטליזטור יהיה אחיד. תפוקת המנורה רגישה ליציבות המתח; ניתן להשיג אחידות מיטבית כאשר המתח מווסת בטווח של ±1%. ההתקנה פשוטה, אך יש להביא בחשבון את העומס התרמי על הרכיבים הסמוכים ואת מסלול האוורור הנדרש. יש להגדיר את סוג החיבור ואת הממדים של המנורה כך שניתן יהיה להחליף אותה במסגרת זמני התחזוקה המתוכננים.