حفظ تمیزی ویفرها: واقعیت مربوط به ایمنی هیترهای مورد استفاده در کارخانههای تولید نیمههادی
در کارخانههایی که در آنها تولید نیمههادی به صورت عمده انجام میشود، یک اشتباه کوچک میتواند همه چیز را نابود کند. تصور کنید یک لامپ مادون قرمز درست بالای یک واگن قرار داشته باشد؛ در این صورت، تکههای شیشهای و مواد شیمیایی روی ویفرها میافتند. در نتیجه، کل محموله از بین خواهد رفت. این یک سناریوی وحشتناک است.
به همین دلیل، ما هیترهای مورد استفاده در اتاقهای پاکسازی را طوری طراحی میکنیم که از وقوع چنین فجایعی جلوگیری کنند.
دلایل شکستن لامپها
معمولاً، دلیل شکستن لامپها، شوک حرارتی یا وجود نقاط گرم بیش از حد است. وقتی که پوسته کوارتزی لامپ دیگر نتواند فشار ناشی از گرما را تحمل کند، لامپ شکسته میشود.
ما از کوارتز با خلوص بالا برای مقاومت در برابر گرما استفاده میکنیم؛ اما فقط به همین محدود نمیشویم. ما همچنین یک غلاف محافظ نیز اضافه میکنیم. میتوانید آن را به عنوان یک سپر ایمنی در نظر بگیرید. اگر لامپ شکسته شود، تکههای آن درون غلاف محافظ باقی میمانند؛ در نتیجه، ویفرها تمیز باقی میمانند و شما مجبور نخواهید بود دوازده ساعت برای تمیز کردن لاین تولید وقت صرف کنید.
تعادل بین گرما و توان
مشکل اینجاست که استفاده از حداکثر توان لامپ، ریسک بالایی دارد؛ اگر لامپ را با بالاترین توان کار کنید، رشته الکتریکی لامپ میتواند به دیواره کوارتزی برخورد کند؛ این امر منجر به شکستن لامپ میشود.
ما ولتاژ و توان لامپ را طوری تنظیم میکنیم که همه چیز پایدار بماند؛ اما شما نیز باید نقش خود را ایفا کنید. مطمئن شوید که منبع تغذیه لامپ پایدار باشد؛ یک افزایش ناگهانی ولتاژ میتواند باعث شکستن رشته الکتریکی لامپ شود.
نحوه استفاده از این دستگاهها
ما از کانکتورهای استاندارد استفاده میکنیم؛ زیرا میدانیم که شما عجله دارید. هرچه سریعتر بتوانید قطعات لامپ را تعویض کنید، لامپ کمتر در معرض هوای خارج از اتاق پاکسازی قرار خواهد گرفت.
البته، یک مشکل کوچک وجود دارد؛ به دلیل وجود غلاف محافظ، کمی از نور مادون قرمز مسدود میشود. ممکن است زمان گرم شدن لامپ چند ثانیه طولانیتر شود.
این یک تضاد کوچک است؛ چند ثانیه گرم شدن بیشتر، بهتر از توقف کامل تولید است.