Reducir las emisiones de carbono en la fábrica sin sacrificar el rendimiento
Seamos honestos: alcanzar los objetivos de neutralidad carbónica en una fábrica de semiconductores es un verdadero reto. Una gran parte del desperdicio energético ocurre durante el calentamiento y curado de las obleas. Es simplemente ineficiente. Por eso optamos por utilizar sistemas de calentamiento por infrarrojos de alta precisión. Hemos encontrado una forma de reducir el consumo de energía y acortar el tiempo de procesamiento, al aplicar el calor de manera más eficiente.
Calentar exactamente donde es necesario
Si la temperatura no es uniforme en toda la oblea, hay un problema. Pero no se puede simplemente aumentar la intensidad del calor, ya que eso dañaría los bordes de la oblea. Utilizamos emisores de infrarrojos de onda corta, ya que son muy rápidos. En lugar de calentar toda la cámara como lo haría un horno tradicional, el calor actúa directamente sobre la superficie de la oblea. De esta manera, se evita perder energía en el aire circundante y se concentra el calor únicamente en la oblea. Es una forma mucho más eficiente de trabajar.
Dejar de adivinar y empezar a medir
Una lámpara de calentamiento es prácticamente inútil si no se sabe exactamente qué está haciendo. Por eso incorporamos sensores de infrarrojos de alta velocidad en el sistema. Funcionan como una especie de “conversación”: el sensor monitorea la oblea en tiempo real y le indica a la lámpara cuándo debe reducir la intensidad del calor, tan pronto como se alcanza la temperatura deseada. Así, se evita sobrecalentar la oblea y desperdiciar energía.
La verdad sobre las actualizaciones “verdes”
La realidad es que ser “verde” no es tan sencillo como simplemente encender un interruptor. Estas lámparas de alta intensidad generan muchísimo calor. No basta con reemplazar el calentador antiguo para resolver el problema. Es necesario tomar en cuenta los sistemas de refrigeración. Si estos no pueden manejar esa carga de calor, los sensores dejarán de funcionar correctamente. Y una vez que eso sucede, la uniformidad de la temperatura se pierde. Es un equilibrio que hay que considerar.
Tratamos de hacer que estos reemplazos sean lo más sencillos posible. Al reducir la variabilidad térmica y acelerar el proceso de calentamiento, logramos disminuir el consumo total de energía por oblea. Es una forma sencilla de reducir la huella de carbono de la fábrica, sin afectar el rendimiento.