IR-Heizung versus. Heiße Luft: Eine schnellere Methode zum Trocknen von Wafern
Bei der Vergütung von Halbleitern kommt es letztendlich auf die Geschwindigkeit an. Wenn man weiterhin heiße Luft verwendet, um die Wafer nach dem Spülen zu trocknen, wartet man im Grunde nur darauf, dass die Luft die Wärme auf die Oberfläche der Wafer überträgt. Das ist ein langsamer Prozess.
IR-Lampen ändern das. Sie benötigen keinen Mittelsmann – sie strahlen die Energie direkt auf die Werkstücke ab.
Warum es tatsächlich schneller geht
Man muss sich vorstellen, wie heiße Luft funktioniert: Man muss eine große Menge Luft erhitzen, diese mit Ventilatoren durch die Luft blasen und hoffen, dass die Luft gleichmäßig auf alle Stellen trifft. Das erfordert viel Mühe – und das Ergebnis bleibt trotzdem langsam.
IR-Lampen sind anders. Es handelt sich dabei um Strahlungsenergie. Da wir wasserdichte Lampen verwenden, können diese den Dampf und die Feuchtigkeit vertragen, ohne auszufallen oder zu rosten. Die Wärme wird mit der Geschwindigkeit des Lichts übertragen. Plötzlich dauert ein Trockenzyklus, der zuvor Minuten in Anspruch nahm, nun nur noch Sekunden. So können pro Stunde mehr Bauteile bearbeitet werden – und man muss nicht einmal mehr Platz auf dem Fabrikboden freiräumen.
Umgang mit Feuchtigkeit
Die Spülstationen sind feucht und voller Dampf – das ist eine Katastrophe für elektronische Komponenten. Deshalb sind diese Lampen fest verschlossen. Wir verwenden Quarzkapseln sowie feuchtigkeitsresistente Dichtungen, damit die Filamente nicht oxidieren oder zerstört werden, sobald etwas Wasser darauf trifft. Zudem sorgt die konzentrierte Energie dafür, dass die Wärme genau dort ankommt, wo sie benötigt wird.
Die „Nachteile“ – und wie man sie behebt
Man kann nicht einfach einen Lüfter entfernen und eine IR-Lampe einsetzen, in der Hoffnung, ein Wunder zu erleben. IR-Lampen benötigen eine klare Sichtlinie. Wenn die Bauteile seltsame Formen haben, tiefe Rillen oder versteckte Vertiefungen, entstehen „Kaltstellen“ – Orte, an die das Licht nicht erreichen kann. Um das zu beheben, benötigt man oft mehrere Lampen oder Reflektoren, damit die Wärme in diese Bereiche gelangen kann.
Noch eines: Überprüfen Sie die Leistungsaufnahme dieser Hochleistungs-IR-Lampen. Sie verbrauchen viel Strom. Möglicherweise müssen Sie Ihre Leistungsschalter verstärken, damit der Strom nicht jedes Mal ausfällt, wenn das System seine maximale Belastung erreicht.